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| 别名 | 四氮化三硅; 四氮化三硅 ; 氧化镁粘结型氮化硅溅射靶; 氮化硅粉末; 氧化镁粘结型氮化硅(IV)溅射靶, 50.8MM (2.0IN) DIA X 3.18M; 氧化镁粘结型氮化硅(IV)溅射靶, 50.8MM (2.0IN) DIA X 6.35M; 氧化镁粘结型氮化硅(IV)溅射靶, 76.2MM (3.0IN) DIA X 3.18M | ||
| 化学名 | Silicon nitride, α-phase,92% | ||
| CAS号 | 12033-89-5 | EINECS编号 | 234-796-8 |
| 分子式 | N4Si3 | 分子量 | 140.2833 |
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